選擇廢氣處理方法，總體上應根據以下因素：污染物質的類型、污染物質濃度水平、廢氣的排氣溫度、廢氣的排放流量、微粒散發(fā)的水平、需要達到的污染物控制水平。

廢氣的處理方法種類繁多，特點各異，常用的有冷凝法、吸收法、燃燒法、催化法、吸附法、低溫等離子、生物法、光催化氧化法、蓄熱式氧化法等。

1）冷凝法：將廢氣直接冷凝或吸附濃縮后冷凝，冷凝液經分離回收有價值的有機物。該法用于濃度高、溫度低、風量小的廢氣處理。但此法投資大、能耗高、運行費用大，廢氣中的有機物濃度較低，風量大(置換風量具體數量由空間大小和空間置換次數決定)，反應流程出來的有機廢氣，一般溫度較高，濃度較大，成分復雜，回收的溶劑難以處理利用，并易產生二次污染，所以廢氣處理一般不采用此法處理。

2)吸收法：可分為化學吸收和物理吸收，物理吸收是選用具有較小的揮發(fā)性的液體吸收劑，它與被吸收組分有較高的親和力，吸收飽和后經加熱解析冷卻后重新使用。該法用于大氣量、溫度低、濃度低的廢氣，裝置復雜、投資大，吸收液的選用比較困難，液體吸收法凈化率只有60%～80%，這種方法實際應用存在吸收效率不高，一般難以達到我國規(guī)定的排放標準，需要配合其他凈化方式來進行處理。

3)直接燃燒法：利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度(700～800℃)，駐留一定的時間，使可燃的有害氣體燃燒。該法工藝簡單、設備投資少，但能耗高、運行成本高，易產生Cl2、COCl2、NOX等有毒副產物，而這些物質對環(huán)境的危害更大，所以廢氣處理一般不采用此法處理。

4)催化燃燒法：將廢氣加熱到200～300℃經過催化床燃燒，達到凈化目的。該法能耗低、凈化率高可達95%、無二次污染、工藝簡單操作方便。適用于小風量、高溫、高濃度的有機廢氣治理，不適用于低濃度、大風量的有機廢氣治理。但催化劑容易易中毒，需定期更換催化劑，不適用于含氯、磷等易使催化劑中毒元素的廢氣處理。催化燃燒法能耗大,所以也不適用。

5)吸附法：

①直接吸附法：有機氣體直接通過活性炭，可達到95%的凈化率，設備簡單、投資小、操作方便，但需經常更換活性炭，若無再生裝置，則運行費用太高;因此可用于濃度低、污染物不需回收的場合。

②吸附回收法：有機氣體經活性炭吸附，該法利用活性炭等吸附劑吸附有機廢氣，接近飽和后用水蒸汽反吹活性炭進行脫附再生，水蒸汽與脫附出來的有機氣體經冷凝、分離，可回收有機液體。該法凈化效率較高，但要求提供必要的蒸汽量，適用于低濃度、大風量的廢氣治理。

6)低溫等離子法：利用介質放電產生的等離子體以相對較快的速度反復轟擊廢氣中的氣體分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等一系列復雜的化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)橐恍┬》肿拥陌踩镔|(如二氧化碳和水)，或使有毒有害物質轉變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質。

該法消耗低，具有裝置簡單，易于操作，占地面積小，使用方便等優(yōu)點，但是在實際應用中存在著凈化效率的問題。由于是一項新技術，人們對于其作用機理研究不夠充分，還沒有形成規(guī)律性認識，很多企業(yè)只是在模仿這項技術，并沒有真正掌握真正的核心技術。

7)生物法：該法是基于成熟的生物處理污水技術上發(fā)展起來，具有能耗低、運行費用少的特點，在國外有一定規(guī)模的應用。其缺點在于污染物在傳質和消解過程中需要有足夠的停留時間，從而增大了設備的占地，同時由于微生物具有一定的耐沖擊負荷限值，增加了整個處理系統(tǒng)在停啟時的控制。該法目前在國內對工業(yè)廢氣治理的應用很少。

8)光催化氧化法：該法是通過光催化氧化反應凈化消除揮發(fā)性有機氣體。所謂光催化氧化反應，就是讓太陽光或其他一定能量的光照射光敏半導體催化劑時，激發(fā)半導體的價帶電子發(fā)生帶間躍遷，即從價帶躍遷到導帶，從而產生光生電子(e-)和空穴(h+)。此時吸附在納米顆粒表面的溶解氧俘獲電子形成超氧負離子，而空穴將吸附在催化劑表面的氫氧根離子和水氧化成氫氧自由基。而超氧負離子和氫氧自由基具有很強的氧化性，能使有機污染物氧化至產物CO2和H2O。利用光催化氧化工藝處理廢氣是一種應用前景非常廣闊的方法。

9)蓄熱式氧化法：該法是利用天然氣或燃料油燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度825℃，滯留一定的時間(0.5～1秒)，使可燃的有害物質進行高溫分解變?yōu)闊o害物質。本法的特點：工藝簡單、去除率高，通過蓄熱材料回收熱量，可以達到90～95%的熱回收率，運行費用較少，尤其對于一些復雜組分處理效果較好。